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![管道燃?xì)庾蚤]閥超欠壓檢測(cè)裝置LFJQ-41](http://img.dlwjdh.com/upload/9636/230510/1bc58676501c21b89f0c718dc550423c.jpg)
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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)/ Product advantages
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多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000 產(chǎn)品介紹
六氟化鎢投加混合氫氣和氬氣的裝置，能把三種氣體按照預(yù)定比例的摻混智能化集成系統(tǒng)，具有將各路氣體進(jìn)行流量控制檢測(cè)、溫度控制檢測(cè)、系統(tǒng)抽真空以及氮?dú)獯祾叩裙δ堋?
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多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000 產(chǎn)品用途
適用于CVD氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)，以及使用六氟化鎢特殊氣體的行業(yè)，主要用于表面材料的研究。
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多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000 應(yīng)用領(lǐng)域
擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)等行業(yè)。
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多組份氣體流量控制系統(tǒng)LFIX-4000 產(chǎn)品特點(diǎn)
1、精度好，自動(dòng)化程度高2、濃度可調(diào)控范圍廣泛3、流量設(shè)定后可自動(dòng)調(diào)節(jié)4、可監(jiān)測(cè)氣體濃度超限報(bào)警
