熱式氣體質(zhì)量流量控制器在各大特殊加工行業(yè)中都是廣泛應用的，今天就主要聊聊LF系列的熱式氣體質(zhì)量流量控制器在金剛石加工中的應用情況。

   氣體質(zhì)量流量控制器(流量計)由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳遞分布效應而制成，即熱分布式流量計，采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。  通過氣體質(zhì)量流量控制器DB9針接線端子中閥控信號線對氣體質(zhì)量流量控制器進行清洗和關(guān)閉操作，當接線至電源正極時，氣體質(zhì)量流量控制器為清洗狀態(tài)，電磁調(diào)節(jié)閥強制完全打開，此時流量輸出不準確，僅僅作為清洗通道作用，但不可將閥控信號長期至于清洗狀態(tài)，以免電磁閥發(fā)熱過度導致?lián)p壞。當接線至電源負極時，氣體質(zhì)量流量控制器為關(guān)閉狀態(tài)，電磁調(diào)節(jié)閥強制關(guān)閉。