LF-PD低壓差氣體質量流量控制器

量程范圍 中量程：150-600SLM （壓差：30-500kpa使用），大量程：600-3000SLM （壓差：200-700Kpa使用）

精度（調零后標準條件下）：±1%F.S

重復性：±1%F.S

零點漂移&滿量程漂移：0.02%F.S/°C/Atm

工作范圍/量程可調比：2%~....FS/50:1

.大可測流量：....F.S （可控制）

典型響應時間：200毫秒（可調整）

啟動預熱時間：<5秒

產品用途

多變量測量以及50:1量程可調比，使得僅用一臺LF系列低壓差氣體質量流量

控制器便可取代多臺設備的功效。精度1%、重復性1%及不到200毫秒的控制響應時間，確保過

程氣體正常工作。

應用領域

LF系列低壓差氣體質量流量控制器廣泛應用于各行業領域，如：工藝制造、食品分析、分

析性測試與計量等。