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在使用氣體質量流量控制器時不小心滲入液體的原因有很多，例如：環境監測站要對各種天氣條件下的空氣質量進行監測，下雨、結霜、融雪都可能使水汽進入氣體質量流量控制器；燃料電池應用通過混合氧氣與氫氣來生成水，整個過程中極易引入水汽等。常規熱式氣體質量流量控制器內的傳感器被設置為氣體通過時將氣體溫度升高至一指定范圍，由于液體的導熱能力比氣體強，所以即便只是瞬間、微量的液體出現于氣路中，也會使得內部元件迅速冷卻。當探測到溫度下降，溫度調節器便會耗費更多功率將其加熱至規定溫度，以致電子部件迅速燒毀。
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