氣體質量流量計既可進..體流量計量工作，也可用于過程控制領域。它的突出特點是：無須溫壓補償，直接測出流體的質量流量。沒有可動部件；壓力損失小；量程比寬；精度高；可靠性高；安裝簡單，操作方便。

在特殊氣體中。比如腐蝕氣體中的酸性氣體在無水狀態下是沒有腐蝕性的，但一旦接觸水或濕空氣，就會變成強腐蝕性。在高溫條件下操作也會增加酸反應的強度。酸性氣體主要有：氯、溴化氫、氯化氫、氟化氫、三氟化硼、三氯化硼等，這些氣體的危害性是材料腐蝕，組織破壞，刺激性、毒性等。氨和甲胺、乙胺等胺類與濕氣或水反應，生成堿性物質。這 類物質對某些金屬，尤其是銅和銅合金有腐蝕性。這類物質對人體組織具有強烈的刺激性，低濃度也可引起嚴重的眼睛刺激。堿性氣體主要有：氨、一甲胺、二甲胺、三甲胺、乙胺等，這些氣體的危害性是材料腐蝕、組織破壞、刺激、毒性。 

在使用有腐蝕性和有毒氣體時，我們一般會根據客戶的實際使用介質情況來推薦相對于的氣體質量流量計，耐腐蝕和耐劇毒的質量流量計可以通過選擇不同的密封材質來進行選型，一般情況下，我們會有丁晴密封材質、氟橡膠密封材質和金屬密封材質。常用的一些輕微的腐蝕性氣體使用完氣體質量流量計后可以用干凈純凈的氮氣，來對控制器進行吹掃即可。