氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體的質量流量進行精密測量和控制：氣體質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)用于對于氣體的質量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD， 等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

1、結構

MFM由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器通道機殼等部件組成，只能對氣體質量流量進行測量;在MFM基礎上加上調節閥構成MFC，既可以對氣體質量流量進行測量，也能對流量進行控制。

2、工作原理

氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道，其中很小-部分進入傳感器內部

的毛細鋼管。由于分流器通道的特殊結構，可以實現這兩部分氣體流量成正比例關系。傳感

器經過預熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱法原

理測量這一小部分氣體的質量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經過放大后輸出，就完成了_MFM的功能。將電路板中加入PID閉環自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設定信號進行比較，以此為基礎控制調節閥，使得流量檢測信號與設定信號相等，這樣便實現了MFC的功能。

四川萊峰流體設備制造有限公司是一家集設計、 生產、銷售機電設備、儀器儀表、實驗室設備為一體的綜合性技術企業。公司自主研發的產品具有穩定可靠，響應時間短，標定精度和重復精度高等特點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可配合計算機使用。