LF系列氣體質量流量控制器采用的材料為：不銹鋼, 聚四氟乙烯，氟橡膠等耐蝕材。在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時，應在定貨時聲明。使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

氣體質量流量控制器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅動控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器在主通道和毛細管間產生層流，用以擴大通過流量控制器的流量。控制器輸出的流量以電壓形式輸出，滿量程為5.00V。控制器一般可以與計算機或與之相兼容的流量顯示儀連接。

在使用LF系列氣體質量流量控制器時，使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體油污。必要時，須在氣路中加裝過濾器等。如果流量控制器出口接有液體源瓶，應在流量控制器出口安裝單向閥，防止液體回流損壞流量控制器。