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六氟化鎢投加混合氫氣和氬氣的多組分氣體控制裝置LFIX-4000 能把三種氣體按照預定比例的摻混智能化集成系統,具有將各路氣體進行流量控制檢測、溫度控制檢測、系統抽真空以及氮氣吹掃等功能。設備是有電腦主機、數據編程模塊以及機械部分組成,科學的自動化程序,可以通過專用的通訊電纜與操控電腦或是其他上位機做數據交換處理,可通過實時的監控高精度的質量流量控制器來控制稀釋氣體以及組分氣體的流量,從而達到高效、..的自動化動態配氣。