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質量流量控制器的應用非常廣泛，用于實驗室各種研究及實驗，也被分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣相色譜儀，光導纖維制造設備中以及真空設備，如真空鍍膜、冶金、化工、電子封裝等。在真空環境中進行的各種應用。
質量流量控制器的主要作用是對氣體或液體的質量流量進行精密測量和控制。這種控制器通過自動調整閥門開度來穩定和調節流體的流速和流量，..流量維持在用戶設定的范圍內。在真空設備中，在應過程中控制氣體的流量，..反應效果穩定和...。質量流量控制器還具有自動化操作、流量保護、數據采集和記錄等功能，能夠實時監測和控制流體的流量，..其在設定的范圍內，同時，許多控制器還具有自我診斷功能，有助于及時發現和解決潛在問題。
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