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氣體混配器的控制方式及工藝流程

所屬分類:行業資訊    發布時間: 2025-07-16    作者:admin
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    氣體混配器是用于..混合多種氣體的關鍵設備。其核心目標是實現高精度、穩定、可重復的氣體混合。LFIX氣體混配器通過質量流量控制器(MFC)或比例閥控制多組分氣體流量,實現ppm至百分比級濃度混合。氣體混配器支持程序化調節濃度、流量,部分設備可聯網遠程操作。能實時監測并存儲濃度、流量、壓力等參數。

     體混配器的控制方式決定了其混合精度和適用場景,四川萊峰流體LFIX氣體混配器采用質量流量控制原理:由質量流量傳感器、熱式原件、質 量流量調節閥和壓力檢測組件等組成,它利用流動的流體不同的流量 效應而制成,其原理是采用量熱法原理測量氣體的質量流量,并分別 控制各自氣體的流量,進入混合器進行精密混合,將混合后的氣體按 需輸出給用氣點,同時設備自帶多種測量原件對氣體進行檢測,.. 混合的..性。

    LFIX氣體混配器能 準確可靠的測量和控制氣體質量流量,測量和控制精度高、零飄 小,測量和控制范圍寬,測量和控制的準確度不受環境溫度和外界壓 力的影響,廣泛的應用于真空鍍膜設備、半導體工藝設備、化學化工 實驗設備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力、傳感器研究等各領域.
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